| 分野 | 使用ガス | 用途 |
|---|---|---|
| 分析ガス 校正ガス |
酸素、窒素、アルゴン ヘリウム、水素、アセチレン 亜酸化窒素、空気 各種高純度・超高純度ガス 混合ガス、精密混合ガス 標準ガス、JCSS標準ガス |
ガスクロマトグラフィでのサンプル供給 発光分析、質量分析でのプラズマ源 原子吸光分析でのフレーム燃料 液体クロマトグラフィ質量分析での試料乾燥 分析計 庫内パージ カウントバック |
| 検査ガス | ヘリウム | リークチェック |
分析・検査ガス
| 種類 | 化学式 | 構成範囲 | 1級標準ガス | 2級標準ガス |
|---|---|---|---|---|
| メタン標準ガス[空気希釈] | CH4[Air] | 1vol ppm 以上 50 vol ppm 以下 | ±1.0 | ±2.0 |
| プロパン標準ガス[空気希釈] | C3H8[Air] | 3.5 vol ppm 以上 500 vol ppm 以下 | ±1.0 | ±2.0 |
| プロパン標準ガス[窒素希釈] | C3H8[N2] | 150 vol ppm 以上 1.5 vol % 以下 | ±1.0 | ±2.0 |
| 一酸化炭素標準ガス[窒素希釈 | CO[N2] | 3 vol ppm 以上 50 vol ppm 以下 50 vol ppm 超 15 vol % 以下 |
±1.5 ±1.0 |
±2.5 ±2.0 |
| 二酸化炭素標準ガス[窒素希釈] | CO2[N2] | 300 vol ppm 以上 16 vol % 以下 | ±1.0 | ±2.0 |
| 一酸化窒素標準ガス[窒素希釈] | NO[N2] | 10 vol ppm 以上 30 vol ppm 以下 30 vol ppm 超 0.5 vol % 以下 |
- ±1.5 ±1.0 |
±5.0 ±2.5 ±2.0 |
| 二酸化窒素標準ガス[空気希釈] | NO2[Air] | 5 vol ppm 以上 50 vol ppm 以下 | ±5.0 | - |
| 酸素標準ガス[窒素希釈] | O2[N2] | 1 vol % 以上 25 vol % 以下 | ±1.0 | ±2.0 |
| 二酸化硫黄標準ガス[窒素希釈] | SO2[N2] | 0.5 vol ppm 以上 1 vol ppm 以下 1 vol ppm 超 50 vol ppm 以下 50 vol ppm 超 0.5 vol % 以下 |
- ±1.5 ±1.0 |
±5.0 ±2.5 ±2.0 |
零位調整ガス
| 種類 | 化学式 | 共存部分の品質 |
|---|---|---|
| 発生源用零位調整標準ガス[窒素又は空気] | N2、AIR | メタン 0.5 vol ppm 以下 一酸化炭素 1.0 vol ppm 以下 二酸化炭素 1.0 vol ppm 以下 窒素酸化物 0.1 vol ppm 以下 二酸化硫黄 0.1 vol ppm 以下 |
| 環境用零位調整標準ガス[空気] | AIR | 二酸化硫黄 0.005 volppm 以下 一酸化窒素＋二酸化窒素 0.005 volppm 以下 |